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　　秦创原

　　创新驱动平台建设

　　典型案例

　　成果转化篇

　　近日，陕西省秦创原创新驱动平台建设工作领导小组办公室会同有关部门征集遴选了174个秦创原创新驱动平台建设的典型案例，分为成果转化、企业培育、产业发展、人才引育、生态服务等类别。秦科技特别推出“秦创原建设典型案例专栏”对这些案例进行推介，宣传各类创新主体和科技工作者投身秦创原建设的典型案例，激发各类创新主体对标先进、鼓足干劲、锐意进取，更好发挥秦创原引领带动效应，加快培育发展新质生产力。

　　“三项改革”科技成果转化项目（企业）典型案例

　　西北工业大学

　　航空航天先进流动测试

　　微系统技术创新团队

　　加快推进智能传感芯片的国产化进程

　　为新质生产力发展提供技术引擎

　　西安砺芯慧感科技有限公司（以下简称“砺芯慧感”）成立于2022年2月，注册资金678万元，位于西咸新区沣东新城沣东创智云谷。砺芯慧感是由西北工业大学航空航天先进流动测试微系统技术创新团队“薄膜温度与压力传感器”相关技术成果转化组建，是一家围绕“核心敏感芯片+微传感器+测试系统+分析软件”综合性传感器研发和制造的企业。目前，砺芯慧感拥有生产和检测设备40余台，有洁净车间（千级）280平方米，建有薄膜温度敏感芯片设计、加工、封装和测试平台，并建成了我国首条覆盖常温、高温、超低温薄膜温度传感器芯片自动化生产线。公司已获国家级高新技术企业、创新型中小企业、ISO9001质量管理体系、欧盟RoSH、CE等多个认证。

　　攻克薄膜温度传感器关键工艺，打破国外技术垄断

　　传感器是数字经济时代下最底层，也是最核心技术之一。“十四五”期间，我国智能传感器产业将在技术创新和产业规模上取得重大突破，产业规模突破千亿元，成为支撑工业互联网和智能制造的新型基础产业。现阶段，我国市场主要应用的传感器绝大部分仍依赖于进口，主流市场产品依赖国外配套的情况尤为突出。中高端传感器进口占比达80%，国产化缺口巨大，成为了严重“卡脖子”问题。

　　薄膜温度传感器是典型的军民两用新型基础核心元器件，在航空航天、军工、汽车电子、家用电子、仪器仪表和生物医疗等领域有着广阔而紧迫的应用需求。结合市场实际需求，砺芯慧感攻克微传感器制造工艺、特种封装技术和多传感器一体化集成方法等中高端智能传感器芯片加工制造难题，特别是攻克了“薄膜温度传感器”的多项关键工艺，并掌握了核心加工工艺，开发了系列薄膜温度传感器芯片，建立覆盖常温、超低温、超高温和特种柔性基等多种薄膜温度传感器批量生产线，形成MEMS微型传感器设计、加工和封装、测试平台，提升我国中高端传感器自主研发能力，解决我国此类传感器“卡脖子”问题，实现了我国微型薄膜温度传感器芯片的自主研发生产，打破了国外对该类产品近30年的垄断。

　　砺芯慧感技术创新团队

　　在科技成果转化“三项改革”政策的支持下，西北工业大学以2项发明专利作价200万元，通过专利转让的方式以无形资产的形式出资到西安砺芯慧感科技有限公司，占股40%；同时，按照《西北工业大学专业技术人员创新创业管理办法》，学校将所占出资比例的 70% 奖励给成果完成团队。九游体育官网

　　在产权交割清楚后，砺芯慧感创始团队仅用一个月，便走完了审批、评估、专利出资到位等流程，于2022年3月入驻秦创原；7月开始办公和生产场地装修、设备进场等工作，11月首条薄膜温度敏感芯片自动化生产线正式投产。

　　国内首条薄膜温度敏感芯片自动化生产线稳定运行

　　2022年11月，砺芯慧感建成国内首条薄膜温度敏感芯片自动化产线。主营产品应用于军、民多个领域：

　　薄膜铂电阻产品：可覆盖-200℃~+900℃测温范围，可被广泛应用于汽车工业、家用电器、暖通空调、生物医疗和实验设备、军工、航空航天等领域；

　　柔性传感器：主要特点是柔性可弯曲，体积小，响应速度快，特别适用于空间狭小、曲率大的微小器件的热环境监控；特种封装温度传感器：主要特点是直径小，响应快、抗震动和电磁干扰，可解决复杂恶劣环境下的测温难题。

　　2023年砺芯慧感薄膜温度敏感芯片年产能达1000万支，新增就业岗位18个，带动资金投入3000万元人民币，培养优秀技术人才20人NineGameSports。实现核心温度传感器自主创新发展，加快推进了智能传感芯片的国产化进程，为重大工程提供核心器件，为行业提供新的手段，并能产生可观的经济收益，为陕西省抢占新兴产业发展的战略高地提供技术引擎。

　　砺芯慧感薄膜铂电阻自动化生产线

　　砺芯慧感薄膜温度传感器发展规划

　　在未来3-5年，西安砺芯慧感科技有限公司将建成年产5000万支的薄膜铂电阻自动化生产线，力争占据国内薄膜温度传感器80%市场份额，成为拥有自主知识产权品牌的传感器行业标杆企业。同时，建成国内智能传感器制造中心和智能传感器测试计量中心，支撑研发、服务生产、吸引产业聚集。

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　　来源：创新平台建设协调处

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